Lateral distributed-feedback gratings for single-mode, high-power terahertz quantum-cascade lasers
M. Wienold, A. Tahraoui, L. Schrottke, R. Sharma, X. Lü, K. Biermann, R. Hey, and H. T. Grahn
Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik, Hausvogteiplatz 5-7, 10117 Berlin, Germany
System used in the research: SAMCO ICP Etching System,
RIE-400iP